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大家都来聊聊白己家乡从古至今出过哪些名人可(6)
苦苦支撑20年,ASML终于等待了他们第一个贵人——台积电鬼才林本坚,一个可以比肩张忠谋的人物。如果说张忠谋缔造了台积电的前20年,林本坚就为台积电的后二十年挣下了巨大的家当。林本坚1942年出生于越南,人,祖籍广东潮汕。林本坚1970年获得美国俄亥俄州立大学电机工程博士学位,2008年当选美国国家工程学院院士。在加入台积电之前,林本坚在IBM从事成像技术的研发长达22年,是当时世界无二的顶级微影专家。2000年,林本坚在当时台积电研发长蒋尚义的邀请下加入台积电,开启了真正“彪悍的人生”。在IBM最后几年,林本坚其实已经看到了傲慢的IBM在微影领域的大厦将倾。他希望IBM能够给予他当时微影部门所研发的X光光刻技术1/10的经费,用来“做点东西”,然而IBM因为其华人的身份,并不打算买账。于是在众多人陷入X光光刻技术无法自拔的时候,林本坚义无反顾地投入了浸润式光刻技术的研究中。终于在2002年,已经加入台积电的他研究出以水作为介质的193纳米浸润式光刻技术。也就是在2002年,冥冥之告了过往干式光刻机的死刑。浸润式光刻技术让摩尔定律继续延伸,后来台积电也因此领先竞争对手超过5年。林本坚的浸润式光刻,几乎被尼康、佳能、IBM等所有巨头,尼康甚至向台积电施压,要求雪藏林本坚。
当时尼康拒绝了台积电的林本坚的建议采用浸润式光刻机,而半死不活的ASML敏锐的看到了其中蕴藏的巨大机会,历史注定ASML会和林本坚合作。ASML如果选择浸润式技术,不仅可以获得台积电的巨大订单,也能够和台积电建立起危难中的“革命友谊”。命运倒向了浸润式光刻技术。2004年,ASML和台积电共同研发出第一台浸润式微影机,优秀的性能和稳定的技术,让阿斯麦的产品全面碾压尼康。尼康只用了5年时间,就失去了50%以上的份额,沦为一个不入流的厂商。尼康因为一步错,把整个日本半导体拖慢了3代。
这种情况也发生在格罗方德身上。当年格罗方德选择了FD-SOI工艺被彻底采用FinFET工艺的台积电甩出十条大街,最终不得不放弃7nm工艺的研发。
Intel为了推动摩尔定律在未来几十年继续有效,联合美国能源部,拉了AMD、摩托罗拉等搞了一个前沿组织EUV LLC,成员甚至包括当时美国劳伦斯利弗莫尔、劳伦斯伯克利和桑迪亚三大国家级实验室。这是当时的业内最顶级组织。ASML和尼康自然看在眼里心心念念,然而诡异的是:最终ASML以一粒“尘埃”的角色加入了组织,而尼康却因为“过于强大”被美国忌惮而被剔除在外。日本第一次被“牺牲”,也为之后被彻底抛弃埋下了隐患。ASML第一次靠自己强大的“游说能力”受益。2003年,EUV组织的几百位科学家在发表了大量的论文,论证了EUV可行性之后,组织光荣解散。此后,尘埃ASML就像一个努力的学生,在打赢了浸润式战役之后就投入到了EUV的研发中。2012年10月17日,美国政府没有经受住ASML持续的忽悠,在ASML“承诺”了一大堆有的没用的条件后,最终同意了ASML收购Cymer——一家顶级光源企业。2015年,ASML经过10年的研发,终于将EUV弄到了可量产的状态。
2012年7月10日,Intel购入ASML合计15%股权,并出资10亿美元支持ASML的研发。同年的8月5日,台积电宣布加入ASML提出的“客户联合投资专案”,以8.38亿欧元获得了ASML合计5%的股权,并承诺未来5年投入2.76亿欧元支持ASML的研发。紧接着在8月27日,三星以5.03亿欧元获得了ASML共计3%的股权,并额外注入2.75亿欧元支持ASML的研发计划。ASML终于成功将三星、英特尔、台积电等等企业“拉到了它的阵营”,甚至可以毫不夸张的话,荷兰的阿麦斯从来都不是一个孤零零的企业,它是全球半导体巨头的整合体,也是全球科技智慧的结晶!当时,这里面却没有。
到目前为止,EUV完全被ASML垄断,美国人原本担心的技术流向尼康和ASML,以另一种更荒诞的情况结束了。阿斯麦垄断,2015年后,ASML再无对手。
另外还有一个插曲:ASML的强大,让美国人坐卧不安。这是可以理解的,美国人总是有受妄想症,总觉得刁难想害他。
为了遏制ASML的一家独大,美国的一些半导体公司,包括Intel、IBM、三星,都有意扶持XTAL,一家在2014年成立于硅谷的光刻机厂商。
2018年,ASML以侵占知识产权为由,起诉XTAL,最终胜诉并在2019年5月获得了8.45亿美金的赔偿。虽然XTAL公司此前已经破产,但最终ASML还是轻松获得了XTAL的大部分资产。
这一次,干掉竞争对手ASML只花了一些律师费。
可以说ASML的成功,得益于自己的远见,更要得益于美国政客的“愚蠢”和尼康的傲慢。
文章来源:《军民两用技术与产品》 网址: http://www.jmlyjsycp.cn/zonghexinwen/2022/1212/934.html